Tartalomhoz ugrás
Vissza a kereséshez

Németország – Különféle különleges célú gépek – Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative MikroelektronikNémetországMegjelent 2026. jún. 04.
Nincs határidő megadva

Leírás

A beszerzés tárgya egy létező 200 mm Wolfram Chemical Vapor Deposition (CVD)-rendszer frissítése, amely az Applied Materials Inc. (AMAT) gyártmánya, egy WxZ Sprint konfigurációra. Ez különösen a gázelosztó rendszerhez való módosításokat vonja magával, hogy egy pulzáló wolfram-lepítési folyamatot valósítsanak meg, valamint az integrálásához szükséges további hardver, hogy a lepítési nyomás 300 Torr-ig is elérhető legyen. A szolgáltatások tervezést, szállítást, integrációt, üzembeállítás és a szükséges hardver- és szoftvermódosítások minősítését foglalják magukban a létező rendszerben.

CPV kódok

Miscellaneous special-purpose machineryMicroelectronic machinery and apparatus

Dokumentumok és benyújtás

AI összefoglaló
Jelentkezzen be egy AI összefoglalóhoz

Contains data from Tenders Electronic Daily (TED), © European Union, ted.europa.eu — CC BY 4.0.

Kapcsolódó közbeszerzések