Svájc – Laboratóriumi, optikai és precíziós felszerelések (kivéve szemüvegek) – Un système de pulvérisation cathodique dédié à la déposition de couches minces supraconductrices de haute qualité

Az EPFL szoros együttműködésben az Genfi Egyetemmel (UNIGE) tervez egy magas színvonalú szputter-leválasztó berendezést vásárolni, amely kifejezetten a magas minőségű szuprakonduktív vékonyrétegek gyártására lett tervezve. A berendezést az EPFL Center of MicroNanotechnology (EPFL CMi) épületében fogják telepíteni és üzemeltetni. A CMi egy központosított intézmény a mikro- és nanofabrication számára, amely az EPFL összes karának szolgál, és nyitott az externális egyetemi és helyi ipari partnerekkel (kb. 600 aktív felhasználó évente). Az új berendezés csúcsfokú kutatásokat fog végrehajtani az egyes fotondetektorok területén, célja pedig az a kiszélesítés, hogy a laboratóriumi gyártás és az ipari termelés között lévő rést kitöltse, mivel lehetővé teszi a 200 mm átmérőjű waferre való leválasztást. A figyelem nem csak a leválasztások minőségére és a szuprakonduktív tulajdonságokra, hanem a berendezések felhasználhatóságára, az új felhasználók számára egyszerű és gyors bevezetésére, valamint a folyamatok flexibilitására és robusztus kontrolljára egy F&E környezetben is irányul. Nagy hangsúlyt fektetnek a szolgáltató közelségére és reagálóképességére a teljes technikai támogatás és folyamat támogatás tekintetében. Az EPFL követelményeinek és a CMi és az UNIGE tudományos céljainak megfelelően különleges figyelem fordítandó a következő pontokra: ● A szuprakonduktív vékonyrétegek minősége, reprodukálhatósága és egyenletessége. ● Integrálásunk infrastruktúráinkkal.