Germania – Attrezzature da laboratorio, ottiche e di precisione (escluso vetri) – OV_LK_08-26-0886 Cz-Züchtungsanlage-Fluoride-2027

Consegna "libera destinazione", installazione e messa in servizio di un impianto di crescita Cz per la coltivazione di monocristalli di fluoruro. Inoltre: fornitura della documentazione, collaudo (collaudo in fabbrica e collaudo finale), servizio in caso di guasto. Il sistema consente la crescita di monocristalli di fluoruro dalla fusione mediante processo di trazione (ad es. processo Czochralski). Il sistema viene utilizzato in un ambiente di ricerca e deve garantire un accesso frequente agli utenti, una manutenzione semplice e una alta stabilità del processo. Il sistema deve essere in grado di produrre cristalli con un diametro massimo di 100 mm (4 pollici) e un peso fino a 5 kg. Il diametro interno massimo del crogiolo è stimato a circa 200 mm. Il processo di coltivazione del cristallo avviene in una camera in acciaio inox raffreddata ad acqua, le cui pareti interne devono essere elettropolite per raggiungere un alto vuoto. Argon e CF4 vengono utilizzati come gas di processo. Il sistema deve disporre di una funzione di bake-out, cioè la camera deve essere in grado di essere evacuata a un alto vuoto (<1×10-6 mbar) sotto riscaldamento a >50 °C. Il processo viene eseguito a una pressione leggermente superiore alla pressione atmosferica (tipicamente 1,05-1,1 bar) in atmosfera statica o in flusso. Il materiale di partenza si trova in un crogiolo a base di carbonio (grafite o carbonio vetroso), che viene riscaldato al centro della camera in acciaio inox. Il riscaldamento avviene mediante un riscaldatore a resistenza in grafite che riscalda il crogiolo e la fusione. Il processo di cristallizzazione viene avviato da un seme cristallino, fissato a un albero in platino rotante e mobile in traslazione, che viene immerso nella fusione. Il seme cristallino viene quindi estratto lentamente dalla fusione con rotazione, formando un monocristallo volumetrico.