Francia – Materiale elettronico, elettromeccanico ed elettrotecnico – Fourniture d’un équipement de métrologie optique 100/150/200mm

Nel quadro delle sue attività di ricerca e sviluppo di partenariati, il CEA LETI intende acquisire un sistema di ispezione ottica dedicato ai wafer non strutturati, capace di ispezionare wafer di 100 mm, 150 mm e 200 mm (detto « strumento ponte »), al fine di sostituire i vecchi sistemi utilizzati fino ad oggi. Lo strumento selezionato deve essere in grado di ispezionare substrati sottili e spessi. Questo sistema sarà utilizzato per la qualificazione dei processi in sala bianca in diverse fasi del processo (finché i substrati non sono strutturati); deve essere in grado di trattare substrati esotici e di ispezionare e, su richiesta dell'utente, raccogliere immagini dei difetti (acquisizione di immagini al microscopio). Il mercato previsto comprende: - Un'attrezzatura di base; - L'opzione di quotazione obbligatoria seguente: o OPT1: Estensione di un anno aggiuntivo della garanzia - Nonché le seguenti opzioni di quotazione facoltativa: o OPT2: Scambiatori di calore/raffreddatori o OPT3: Trasformatore o OPT4: Formazione Manutenzione 1° livello o OPT5: Formazione Manutenzione Avanzata o Il prezzo del trasporto, assicurazione inclusa, secondo le condizioni DAP CEA Grenoble (Convenzione Incoterms ICC 2020)