Francia – Macchinari e apparecchiature microelettronici – Fourniture d’un équipement de 300mm de polissage mécano-chimique

Per le sue attività di ricerca volte allo sviluppo delle tecnologie FD-SOI 10 nm e oltre, il CEA-LETI intende acquistare un attrezzatura 300mm di polimento meccano-chimico. L'attrezzatura dovrà essere in grado di polire film metallici come il rame o il tungsteno, nonché materiali barriera come il tantalio o il titanio. L'attrezzatura dovrà anche essere in grado di polire piastre trasparenti. Dovrà essere equipaggiata con 4 piatti e 2 pulitori per poter trattare 2 processi in parallelo. Dovrà essere equipaggiata con teste di polimento e sistemi di end-point di ultima generazione che permettono l'aggiustamento automatico del profilo di polimento. L'attrezzo dovrà poi integrare un modulo di metrologia in-situ. Il presente contratto prevede la seguente opzione obbligatoria: - Opzione n°1: Prolungamento della garanzia di un anno aggiuntivo. Il presente contratto prevede le seguenti opzioni facoltative: - Opzione n°2: Fornitura di un sensore di residui (paragrafo 3.1 del capitolato d'oneri), - Opzione n°3: Fornitura di uno scambiatore di calore/raffreddatore (paragrafo 3.2.6 del capitolato d'oneri), - Opzione n°4: Fornitura di un trasformatore elettrico (paragrafo 4.1.3 del capitolato d'oneri), - Opzione n°5: Formazione di manutenzione di 1° livello (paragrafo 9 del capitolato d'oneri), - Opzione n°6: Formazione di manutenzione avanzata (paragrafo 9 del capitolato d'oneri), - Opzione n°7: Il prezzo del trasporto, assicurazione inclusa, secondo le condizioni DAP CEA Grenoble (Convenzione Incoterms ICC 2020).