Germania – Macchinari vari per usi generali e specifici – Inline automatic optical inspection (AOI) with high-speed Analysis for QMI systems

Prober modulare, completamente automatizzato per l'ispezione ottica e il contatto elettrico di dispositivi elettronici, fotonici e microelettromeccanici, inclusi approcci di manifattura avanzata come l'integrazione quasi-monolitica. Il sistema gestisce wafer da 200 mm, nonché cornici, nastri, vassoi e substrati comparabili. Un sistema di manutenzione del vettore end-to-end carica i vettori con substrati montati da cassette specializzate, li posiziona sul mandrino a vuoto del prober e esegue l'allineamento completamente automatizzato. È fornita un'interfaccia testcard/probe-card per il collegamento elettrico. Il rilevamento della sonda e il posizionamento fine vengono eseguiti automaticamente per garantire condizioni di contatto riproducibili. Il software di controllo supporta il controllo della sequenza programmabile e l'allineamento basato su punti di riferimento. Per l'ispezione ottica, il sistema offre un'interfaccia meccanica mobile per accettare moduli di ispezione ottica modulari, forniti dal cliente (ad esempio, microscopio con camera) con regolazione laterale e verticale. Lo spazio sopra il