Germania – Attrezzature da laboratorio, ottiche e di precisione (escluso vetri) – EUV-Targets

Con la sorgente EUV da acquisire, inclusa l'instrumentazione per la caratterizzazione delle emissioni, devono essere analizzati aspetti scientifici. Questi includono principalmente studi sulle dipendenze delle emissioni dai parametri della potenza del laser irradiato. Inoltre, questo setup deve essere esaminato come alternativa alle sorgenti EUV coerenti già sviluppate presso il HI Jena in termini di applicazione per procedure di imaging.