Francia – Macchinari e apparecchiature microelettronici – Acquisition et mise en service d’un équipement ALD pour les films avancés métalliques et nitrures métalliques pour le CEA de GRENOBLE - ALD Tool for advanced metal and metal nitrides

Nel quadro delle sue attività di ricerca volte a sviluppare tecnologie SOI a totale esaurimento di 10 nm e oltre, il CEA-LETI intende acquisire un attrezzatura di deposizione a strato atomico (ALD) completamente automatica. Tale attrezzatura dovrà trattare principalmente wafer da 300 mm (o da 200 mm mediante supporti 200-300 mm). È destinata al deposito di metalli nonché di nitruri metallici per le memorie non volatili e i contatti avanzati. Tale attrezzatura dovrà includere anche una soluzione di pulizia per migliorare la qualità della superficie prima del deposito di metalli e nitruri metallici. La fornitura comprende anche le seguenti opzioni a preventivazione obbligatoria*: - Opzione 1 – Formazione di manutenzione Livello 1 (Capitolo 9) La fornitura comprende anche le seguenti opzioni a preventivazione facoltativa*: - Opzione 2 – Scambiatore di calore (Heat exchangers) e sistemi di raffreddamento (chillers) (Sezione 3.2.6) - Opzione 3 – Trasformatore elettrico (Power supply transformer) (Sezione 4.1.4) - Opzione 4 – Formazione di manutenzione Avanzata (Capitolo 9) - Opzione 5 – Servizi di manutenzione preventiva, correttiva e pezzi di ricambio necessari (Sezione 12.2) - Opzione 6 – Estensione della garanzia di un ulteriore anno - Il prezzo del trasporto, assicurazione compresa, secondo le condizioni DAP CEA Grenoble (Convenzione Incoterms ICC 2020)