Spagna – Circuiti elettronici integrati e microassemblaggi – Suministro, instalación y puesta en funcionamiento de un equipo Electron Beam Lithography tool up to 8-inch wafers (UPV04) y un equipo SEM (UPV13) para la Pilot Line de la UPV

La contrattazione oggetto del presente procedimento è necessaria per eseguire la ricerca e lo sviluppo per la Pilot Line della UPV, con l'obiettivo di migliorare le linee pilota avanzate esistenti e sviluppare nuove in tutta l'Unione, per permettere lo sviluppo e il dispiegamento di tecnologie di semiconduttori di avanguardia e tecnologie di semiconduttori della prossima generazione. A tal fine, è necessario procedere all'acquisizione, tra gli altri, dei seguenti attrezzature: 4

• UPV04 - Electron beam lithography tool up to 8-inch wafers: Attrezzatura di litografia a fascio di elettroni che espone modelli in resistenze sensibili mediante un fascio di elettroni focalizzato e scansito. Scrive caratteristiche con risoluzione nanometrica secondo progetto in file digitale. Dedicata a patronato di nanofabricazione, specialmente per maschere e strutture in fotonica, semiconduttori e nanotecnologia.

• UPV13 – SEM: Attrezzatura di ispezione delle superfici mediante un fascio di elettroni focalizzato che fornisce immagini a risoluzione nanometrica. Permette di ottenere informazioni morfologiche e di contrasto superficiale, nonché contrasto associato a differenze di composizione o numero atomico, in funzione dei rivelatori e dei modi di immagine disponibili. Dedicata a metrologia, ispezione e validazione di processo e controllo di qualità. L'idoneità dell'attrezzatura si basa sulla sua capacità di coprire congiuntamente i requisiti di patronato e metrologia dedicati necessari per la fabbricazione in linea pilota di circuiti fotonici integrati ibridi. Questa capacità permette di coordinare la definizione dei parametri di esposizione e punti di interesse per metrologia successiva, integrare l'ispezione SEM esterna post-processo e garantire la tracciabilità e coerenza dei dati generati durante il flusso di fabbricazione.