Germania – Macchine e apparecchi di prova e misurazione – Semi-Automatic Wafer Prober System for Characterization of 200-mm Wafers

L'oggetto dell'appalto è la fornitura, l'installazione e la messa in servizio di un sistema di prober per wafer semiautomatico per la caratterizzazione elettrica e ad alta frequenza di wafer da 200 mm per uso di ricerca e di laboratorio presso IHP. Il sistema dovrà includere, tra gli altri componenti, un prober per wafer da 200 mm con morsa a vuoto e posizionamento di precisione, sonde individuali, sonde a contatto multiplo per misurazioni RF fino ad almeno 6 GHz, un sistema di schede di prova, attrezzature di microscopia e fotocamera automatizzate, nonché componenti di controllo e software. L'ambito di fornitura include anche il trasporto, l'installazione, la messa in servizio, la formazione, la documentazione, la garanzia e la fornitura di ricambi.