Belgio – Attrezzature da laboratorio, ottiche e di precisione (escluso vetri) – 2 PVD systemen en materiaal

Lotto 1 Spiegazione

L'autorità contraente intende acquistare un sistema di deposizione a film sottile di alta qualità per la ricerca su materiali avanzati nell'ambito del progetto finanziato dall'ERC THERMAGINE. Il sistema sarà utilizzato per la deposizione e l'ingegnerizzazione di film sottili magnetici metallici e ossidici e strati multipli con controllo dello spessore a scala nanometrica. L'attrezzatura sarà utilizzata principalmente per la fabbricazione di film sottili (multistrato) magnetici e cunei per la ricerca nanomagnetica. Il sistema deve quindi offrire un alto grado di flessibilità, riproducibilità, stabilità del processo e automazione. Per i dettagli tecnici, vedere la parte III.

Lotto 2 Spiegazione

Per facilitare la ricerca esplorativa nel cleanroom UGent, è necessario un nuovo sistema di deposizione fisica da vapore (PVD) che possa gestire substrati di almeno 100 mm di dimensioni. Il sistema PVD sarà condiviso tra il gruppo di ricerca sulla fotonica (PRG) e il gruppo di ricerca sui cristalli liquidi e fotonica (LCP) per depositare una vasta gamma di film sottili (principalmente) metallici o dielettrici. L'incarico include l'avvio e l'installazione dell'attrezzo, nonché un caricamento a blocco per il caricamento più rapido dei campioni e la formazione da parte del fornitore dell'attrezzatura. Un sistema di deposizione di film sottili PVD da 100 mm, con sia sorgenti di evaporazione e-gun che sorgenti di sputtering e un caricamento a blocco.

Lotto 3 Spiegazione

Consumabili del primo anno per il Lotto 2. Il Lotto 3 riguarda l'acquisto una tantum dei consumabili specificamente richiesti per il sistema PVD descritto nel Lotto 2 e per l'uso nel cleanroom UGent durante il primo anno di funzionamento. L'inventario deve includere almeno oro per bersagli di sputtering, titanio per bersagli di sputtering, oro per evaporazione e-gun e titanio per evaporazione e-gun. Altri consumabili utilizzati in quantità inferiori, come alluminio, nichel, platino, ossido di alluminio, cromo e materiali simili, possono essere offerti come elementi aggiuntivi opzionali, ma non sono obbligatori.