Germania – Strumenti di misurazione – Positionierungssystem für experimentelle Mikromagnetisierungsprozesse

Con la posizionamento micrometrico di teste di scrittura magnetiche, dovrebbero essere magnetizzate in modo mirato strati sottili di film magnetici permanenti. Lo scopo del sistema di posizionamento è la sperimentazione di un concetto di magnetizzazione. Il posizionamento relativo micrometrico di una testa di scrittura magnetica sui substrati da magnetizzare deve avvenire in un sistema complessivo tramite un piattaforma XYR (traslazione laterale e rotazione del substrato) e asse Z (traslazione verticale) (vedi Systemübersicht.pdf). Quest'ultima viene montata sopra il substrato su una traversa specificata, che può ospitare le teste di magnetizzazione. Serve per l'avvicinamento verticale nell'ordine del submicrometro e per l'istituzione di un contatto definito della testa di scrittura con il substrato, per effettuare le magnetizzazioni. Entrambi i sottosistemi - piattaforma XYR e asse Z - devono essere coordinati tra loro in modo tale da poter raggiungere la precisione di posizionamento specificata nel sistema complessivo e consentire movimenti di traiettoria. Oltre a un asse Z attrezzato, sulla traversa specificata devono essere previste e fornite delle prese per altri due teste di scrittura identiche per un possibile potenziamento successivo. Le prese meccaniche costruite devono essere progettate in modo che ogni testa di scrittura possa raggiungere ogni posizione su un wafer da 150 mm. Tutte le condizioni quadro e i requisiti dei sottosistemi sono specificati di seguito e in parte da desumere dai documenti allegati.