Francia – Macchinari e apparecchiature microelettronici – Acquisition d’une paillasse de gravure matériaux III-V pour le CEA de GRENOBLE

Per le CEA-LETI, per le sue attività di ricerca, si desidera acquistare un attrezzatura, una postazione di chimica semiautomatica per la lavorazione e la pulizia di materiali III-V su wafer di silicio, fosforuro di indio (InP) o arseniuro di gallio (GaAs) con diametri 100, 150, 200 e 300 mm per la microelettronica. Questa postazione sostituisce una postazione già esistente nella sala bianca del LETI. Pertanto, l'attrezzatura proposta deve rispettare le seguenti dimensioni: o Lunghezza = 2500 mm o Profondità = 1700 mm o Altezza = 2100 mm

Il mercato comprende anche le seguenti opzioni a preventivazione facoltativa*: o Opzione 1: Scambiatore di temperatura e refrigeratori (par. 3.2.6); o Opzione 2: Trasformatori di alimentazione (par. 4.1.4); o Opzione 3: Formazione manutenzione 1° livello (par. 9); o Opzione 4: Formazione manutenzione avanzata (par. 9); o Opzione 5: Estensione della garanzia di un anno supplementare (par. 11.1); o Opzione 6: Messa a disposizione di un contatto secco che indica l'apertura della valvola dello scarico H2SO4 o H2SO5 (par. 4.2.3); o Il prezzo del trasporto, assicurazione inclusa, secondo le condizioni DAP CEA Grenoble (Convenzione Incoterms ICC 2020).