Portogallo – Attrezzature da laboratorio, ottiche e di precisione (escluso vetri) – STANDARD AND TECHNICAL SPECIFICATIONS TO GOVERN THE CONTRACT FOR THE SUPPLY AND INSTALLATION OF AN INDUCTIVELY COUPLED PLASMA REACTIVE ION ETCHING (ICP-RIE) SYSTEM

L'oggetto del contratto è la fornitura e l'installazione di attrezzature e componenti scientifici presso l'INL, elencati di seguito e dettagliati nell'Allegato V allegato a queste Specifiche Standard (da ora in poi denominate ‘Specifiche’). Le attrezzature elencate nell'Allegato V costituiscono i lotti di cui è composto il bando. I concorrenti possono presentare offerte per uno o più lotti. L'oggetto del contratto, in tutti i casi, non include gli strumenti e le attrezzature scientifiche cosiddetti rigenerati. Il singolo lotto che compone il bando è il seguente: Fornitura, installazione, collaudo, collaudo di accettazione e formazione di un sistema di Etching a Ioni Reattivi a Plasma Accoppiato Induttivamente (ICP-RIE) ad alte prestazioni destinato alla micro- e nanofabbricazione.