Germania – Macchinari vari per impieghi speciali – Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration

Oggetto dell'acquisizione è l'aggiornamento di un esistente sistema di deposizione chimica da vapore (CVD) a wolframio da 200 mm del produttore Applied Materials Inc. (AMAT) a una configurazione WxZ Sprint. A tal fine, sono necessari, in particolare, adattamenti al sistema di distribuzione del gas per realizzare un processo di deposizione pulsata di wolframio, nonché l'integrazione di ulteriori hardware per consentire pressioni di deposizione fino a 300 Torr. Le prestazioni comprendono la pianificazione, la fornitura, l'integrazione, la messa in servizio e la qualifica delle necessarie modifiche hardware e software al sistema impiantistico esistente.