Prancūzija – Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai – Fourniture d’un équipement de 300mm de polissage mécano-chimique

CEA-LETI norėdamas įsigyti 300 mm mechaninio chemijos polirimo įrangą, siekia plėsti 10 nm FD-SOI technologijų tyrimus ir toliau. Įranga turi galėti poliruoti metalo plėveles, tokias kaip varis ar volframas, bei barjerinius medžiagas, tokias kaip tantalas ar titanas. Įranga taip pat turi būti įrengta poliruoti skaidrius plokštumas. Ji turi būti aprūpinta 4 plokštumomis ir 2 valyklėmis, kad galėtų apdoroti 2 procesus vienu metu. Ji turi būti aprūpinta polirimo galvutėmis ir paskutinio karto galutinio taško sistemomis, leidžiančiomis automatiniu būdu justuoti polirimo profilio. Vėliau įranga turi būti suintegruota su in-situ metrologijos moduliu. Šis kontraktas turi šią privalomąją opciją: - Opcija n°1: Garantijos pratęsimas vienam metui. Šis kontraktas turi šias fakultatyvias opcijas: - Opcija n°2: Liekanų jautiklio tiekimas (§3.1 techninio specifikacijos), - Opcija n°3: Šilumos mainų/šaldytuvo tiekimas (§3.2.6 techninio specifikacijos), - Opcija n°4: Elektrinio transformatoriaus tiekimas (§4.1.3 techninio specifikacijos), - Opcija n°5: Pirmo lygio priežiūros mokymas (§9 techninio specifikacijos), - Opcija n°6: Aukšto lygio priežiūros mokymas (§9 techninio specifikacijos), - Opcija n°7: Transporto kaina, įskaitant draudimą, pagal DAP CEA Grenoble sąlygas (ICC 2020 Incoterms konvencija).