Prancūzija – Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai – Acquisition et mise en service d’un équipement ALD pour les films avancés métalliques et nitrures métalliques pour le CEA de GRENOBLE - ALD Tool for advanced metal and metal nitrides

CEA-LETI siekdamas įsigyti visiškai automatinį atominių sluoksnių nuosėdimo (ALD) įrangą, siekiant plėsti 10 nm ir toliau SOI išsėdimo technologijas, siekiant plėsti tyrimų veiklą. Ši įranga turės būti pagrindinė 300 mm (arba 200 mm naudojant 200-300 mm laikiklius). Ji skirtas metalų ir metalinių nitridų nuosėdimo neatsinaujinančiam atminties ir aukštos technologijos kontaktams. Taip pat įranga turėtų turėti valymo sprendimą, kad būtų gerinama paviršiaus kokybė prieš metalų ir metalinių nitridų nuosėdimą. Ši sandėlis taip pat turi įtraukti šias privalomai įvertintinas opcijas:

- Opcija 1 – Pagrindinio priežiūros mokymas (Pagrindinis 9)

Ši sandėlis taip pat turi įtraukti šias įvertintinas opcijas:

- Opcija 2 – Šilumos mainikliai (Heat exchangers) ir šaldymo sistemos (chillers) (3.2.6 skyrius)

- Opcija 3 – Elektros transformatorius (Power supply transformer) (4.1.4 skyrius)

- Opcija 4 – Aukštesniojo priežiūros mokymas (Pagrindinis 9)

- Opcija 5 – Pagrindinio priežiūros, korekcinio priežiūros ir pakeitimo dalių paslaugos (12.2 skyrius)

- Opcija 6 – Garantijos pratęsimas vienu metu

- Transporto kaina, įskaitant draudimą, pagal DAP CEA Grenoble sąlygas (ICC 2020 Incoterms konvencija)