Prancūzija – Elektromechaniniai įrenginiai – Equipement de 300mm de gravure sélective Si-SiGe - Dry selective_SiSiGe_etching tool

CEA Leti, siekdamas atlikti tyrimų veiklas, kurios tikslas yra vystyti FDSOI 10 nm ir toliau technologijas (FDSOI10), nori įsigyti FEOL/MEOL graviravimo įrangą savo švarioje kameroje. Įranga turės galimybę apdoroti 300 mm plokšteles ir leisti aukštos selektyvumo ir izotropinio silicio (Si) ir silicio-germanio (SiGe) graviravimą. Ji turi būti su šiomis privalomomis opcijomis:

- Opcija 1: Process 7 (SiCO spacer graviravimas)

- Opcija 2: Process 8 (spacer ir SADP graviravimas)

- Opcija 3: Pirmo lygio priežiūros formavimas

Taip pat su šiomis neprivalomomis opcijomis:

- Opcija 4: Šilumos mainikliai (Heat exchangers) ir šaldymo sistemos (chillers) (3.2.6 skyrius)

- Opcija 5: Elektros transformatorius (Power supply transformer) (4.1.4 skyrius)

- Opcija 6: Aukšto lygio priežiūros formavimas (9 skyrius)

- Opcija 7: Preventyvinės, korigavimo priežiūros paslaugos ir reikalingos atsarginės dalys (12.2 skyrius)