Belgija – Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius) – 2 PVD systemen en materiaal

Lot 1 Paskirties

Užsakovoja įstaiga planuoja įsigyti aukštos kokybės plonųjų sluoksnių nuosėdinimo sistemą, skirtą naujoms medžiagoms tyrimams, ERC finansuojamo projekto THERMAGINE rėmuose. Sistemos bus naudojama magnetinių metalinių ir oksidų plonųjų sluoksnių bei daugiasluoksnių stogų nuosėdai ir inžinerijai su nanometrinio storumo kontrole. Įranga bus naudojama daugiausia magnetinių (daugiasluoksnių) plonųjų sluoksnių ir kliūčių gamybai nanomagnetinių tyrimų. Todėl sistema turi teikti aukštą lankstumą, pakartotinamumą, procesų stabilumą ir automatizaciją. Techninių detalėms žiūrėti III dalyje.

Lot 2 Paskirties

Norint pagerinti tyrimus UGent švarų kambarių, reikia naujos fizinės garų nuosėdinimo (PVD) sistemos, kuri gali apdoroti substratus ne mažesnius kaip 100 mm dydžio. PVD sistema bus bendrinama tarp fotonikos tyrimų grupės (PRG) ir skysčių kristalų bei fotonikos (LCP) tyrimų grupės, kad nuosėdintų plačią įvairių (daugiausia) metalinių arba dielektrinių plonųjų sluoksnių. Į užduotį įeina įrangos paleidimas ir įdiegimas, taip pat greitesnės pavykų įkrovimo įranga ir mokymas, teikiamas įrangos tiekėjų. 100 mm PVD plonųjų sluoksnių nuosėdinimo sistema su abiem e-gun garavimo ir srauto šaltiniais ir įkrovimo įranga.

Lot 3 Paskirties

Pirmųjų metų išlaidos Lot 2. Lot 3 apima vienkartinį įsigijimą, skirtą PVD sistemos, aprašytos Lot 2, ir naudojamą UGent švarų kambariuose pirmųjų metų eksploatavimo metu. Inventorius turi įtraukti bent aukso srauto taikinius, titano srauto taikinius, aukso e-gun garavimo ir titano e-gun garavimo. Kitos mažiau naudojamos medžiagos, tokios kaip aliuminis, nikelis, platina, aliuminio oksidas, chromas ir panašios medžiagos, gali būti siūlomos kaip papildomos neprivalomosios medžiagos, bet jos nėra privalomos.