Praleisti į turinį
Grįžti į paiešką

Vokietija – Laboratorinė, optinė ir precizinė įranga (išskyrus akinius) – Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS

Ruhr-Universität BochumVokietijaPaskelbta 2026-08-12
Nenurodytas galutinis terminas

Aprašymas

Ruhr-Universität Bochum planuoja įsigyti DRIE etikliavimo įrenginį, skirtą Mikroelektronikos Bochume tyrimų laboratorijai, kuris bus naudojamas Wafer-Substratams iki 200 mm skersmens. Jis bus naudojamas silicio pagrinduose Mikroelektromechaninių Sistemų (MEMS) srityje, giliamisotropiniam silicio etikliavimui, remiantis cikline etikliavimo procesu (DRIE, "BOSCH-Procesas"), ir taip pat naujų etikliavimo koncepcijų tyrimams, kurios naudotų mažiau klimato pakenčiantys etikliavimo dujoms.

CPV kodai

Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses)

Dokumentai ir pateikimas

AI santrauka
Prisijunkite, kad gautumėte AI santrauką

Contains data from Tenders Electronic Daily (TED), © European Union, ted.europa.eu — CC BY 4.0.

Susiję pirkimai