France – Équipements de laboratoire, d'optique et de précision (excepté les lunettes) – Acquisition et installation d’un profilomètre optique confocal laser à haute résolution en z

Le nouvel équipement doit permettre la reconstruction 3D de profils de dimensions latérales micrométrique et de dimensions verticales sub micrométriques et micrométriques, avec une haute résolution en z (sub 20 nm à fort grossissement) ainsi que de mesurer de la nano topographie et de la rugosité sub 100nm par interférométrie sur de grands champs.