Prancūzija – Mikroelektronikos įrenginiai ir aparatai – Fourniture d’un équipement de dépôt dédié au remplissage métallique de vias à basse température

CEA-Leti norėdamas įsigyti įrenginį, skirtą žemos temperatūros metalinių vių užpildymui atminties taikymams savo švaros kameroje, siekia tobulinti 10nm FDSOI technologijas ir naujas. Įrenginys turės galėti naudoti 300mm plokštes ir bus skirtas aukšto konformumo volframo plonų filmų nuosėdai į aukšto formos koeficiento vius. Numatomas kontraktas turės vieną privalomą ir keturis fakultatyvius pasirinkimus:

- Privalomas pasirinkimas: . Pasirinkimas 3 (fakultatyvi paslauga): Pirmojo lygio prižiūros mokymas

- Fakultatyvi pasirinkimai: . Pasirinkimas 1 (fakultatyvi tiekimas): Šilumos mainikliai / atšaldytuvai . Pasirinkimas 2 (fakultatyvi tiekimas): Elektros tiekimo transformatorius . Pasirinkimas 4 (fakultatyvi paslauga): Aukšto lygio prižiūros mokymas . Pasirinkimas 5 (fakultatyvi paslauga): Garantijos pratęsimas vienam metui