Prancūzija – Elektroniniai, elektromechaniniai ir elektrotechniniai reikmenys – Fourniture d’un outil de mesure de couches minces compatible avec wafers de 200 mm et 300 mm

CEA-LETI norėdamas įsigyti prietaisą, skirtą matuoti plonus sluoksnius, suderinamą su 200 mm ir 300 mm plokštėmis, naudojamą klasės 100 švaros kambaryje, siekia įgyti prietaisą, kuris turėtų integruotas elipsometrijos ir spektroskopinės reflektometrijos funkcijas. Prietaisas turėtų užtikrinti tikslus ir pakartotinus matavimus vieno arba daugiau sluoksnių storumų ir optinių savybių. Taikomos technologijos įskaitant SOI, high-k medžiagas, GaN, SiC ir III-V pavyzdžiui. Šis rinkos pasiūlymas apima: - firmą, atitinkančią bazinį įrangą, - opcionalią nr. 1, susijusią su OCD ir informacinių sistemų (OCD Modulis) tiekimu. Šis rinkas turi šias galimybes, kurios yra atskaitos galimybės: o OPT1: Pirmosios lygmens prietaisų priežiūros mokymas o OPT2: Aukšto lygmens priežiūros mokymas o OPT3: Elektros transformatoriaus tiekimas o OPT4: Šilumos mainų įrenginio / šaldytuvų tiekimas o OPT5: Garantijos pratęsimas dar vienam metui o OPT6: Transporto kaina, įskaitant draudimą, pagal DAP CEA Grenoble sąlygas (ICC 2020 Incoterms konvencija).