Vokietija – Įvairios specialios paskirties mašinos – Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration

Pirkimo objektas yra esamų 200 mm volframo chemijos garų nuosėdų (CVD) sistemos, gamintojo Applied Materials Inc. (AMAT), atnaujinimas iki WxZ Sprint konfiguracijos. Tai reikalinga, ypač, dujų skirstymo sistemos pritaikymas, kad būtų įgyvendintas pulsuojantis volframo nuosėdų procesas, taip pat papildomos įrenginių integracija, kad būtų galima nuosėdų slėgiai iki 300 Torr. Paslaugos apima esamų įrenginių sistemos planavimą, tiekimą, integraciją, įvedimą į eksploataciją ir kvalifikavimą, taip pat reikalingas programinės įrangos ir programinės įrangos pritaikymus.