Zviedrija – Laboratorijas, optiskās un precīzijas ierīces (izņemot brilles) – Electron Beam Lithography (EBL) Tool

Lund University, Fizikas fakultāte, Lund Nano Lab iegādājas Elektronu staru litogrāfijas ierīci. Ierīce paredzēta augstas izšķirtspējas, atkārtotam uzrakstīšanai, apgādāta ar lielu rakstīšanas lauku augstas caurplūdes uzrakstīšanai un automātiskām paškalibrācijas procedūrām, lai atbalstītu ilgstošus eksponēšanas laikus ar minimālu kļūdu daudzumu, kas saistītas ar staru drifta. Beidzot, tā elastīgā paraugu ielādes sistēma ir jākonfigurē plašam paraugu diapazonam, sākot no maziem gabaliem, kas izmanto pamatzinātnes, vai vāfeles līdz 8" diametram pilotizēšanas testēšanai. Ar šīm īpašībām Elektronu staru litogrāfijas ierīce kļūs par centrālo daļu Lund Nano Lab ražošanas infrastruktūras un atbalstīs dažādas lietojumprogrammas, kā kvantu ierīces, augstas jaudas elektroniku, metasurfaces un vairāk. Papildus ierīcei, izsolē jāiekļauj visas saistītās izdevumus, kā garantija, pakēšana, apdrošināšana, vietā uzstādīšana, komisija, FAT, SAT, nodoklis un transportēšana, apmācība, dokumentācija, atbalsts, attīstība/programmatūras atjauninājumi, maksas pēc Pakotāju Atbildības noteikumu (2022:1274) u.c.