Francija – Mikroelektronikas ierīces un aparāti – Fourniture d’un équipement de 300mm de polissage mécano-chimique

CEA-LETI, lai atbalstītu pētniecības aktivitātes, kas vērstas uz FD-SOI 10 nm un tālāku tehnoloģiju attīstību, vēlas iegādāties 300 mm mehānisko-himišķo polēšanas iekārtu. Iekārtai būtu jāspēj polēt metāla slāņus, piemēram, varu vai volframu, kā arī barjeras materiālus, piemēram, tantālu vai titānu. Iekārtai arī būtu jāspēj polēt caurspīdīgas plāksnes. Tā būtu jāaprīko ar 4 plāksnēm un 2 tīrīšanas iekārtām, lai varētu apstrādāt 2 procesus paralēli. Tā būtu jāaprīko ar pēdējas paaudzes polēšanas galviņām un end-point sistēmām, kas ļauj automātiski just polēšanas profilu. Vēlāk iekārtai būtu jāintegrē in-situ metrologijas modulis. Šajā tirgū ir obligāta opcija: - Opcija n°1: Garantijas pagarināšana par vienu gadu. Šajā tirgū ir arī šādas fakultatīvas opcijas: - Opcija n°2: Atkritumu sensora piegāde (§3.1. no tehniskā specifikācija), - Opcija n°3: Siltummaiņa/dzesēšanas iekārtas piegāde (§3.2.6 no tehniskā specifikācija), - Opcija n°4: Elektrotransformatora piegāde (§4.1.3 no tehniskā specifikācija), - Opcija n°5: 1. līmeņa uzturēšanas apmācība (§9 no tehniskā specifikācija), - Opcija n°6: Augstākā līmeņa uzturēšanas apmācība (§9 no tehniskā specifikācija), - Opcija n°7: Transporta cena, iekļaujot apdrošināšanu, DAP CEA Grenoble apstākļos (Incoterms ICC 2020 konvencija).