Francija – Elektroniskie, elektromehāniskie un elektrotehniskie materiāli – Équipement de 300 mm pour du dépôt métallique par de PVD

CEA-LETI savas pētniecības darbības, kas vērstas uz FD-SOI 10 nm un tālāk tehnoloģiju attīstību, vēlas iegādāties 300 mm iekārtu metāla nogulsnēšanai ar PVD. Iekārta būs daudzkomeru un tās jāiekļauj vismaz 5 nogulsnēšanas kameras, vakuuma pārsūtīšanas platforma, atsevišķa oksidēšanas kamera, priekšapmērcēšanas kamera un degazēšanas modulis. Krātuves lūka jāpieņem vismaz 3 FOUPs. Plānotajā līgumā ir šādas opcijas:

- Obligāta opcija: OPT1: Garantijas pagarinājums par 1 gadu (§11.1 no specifikācijas)

- Neobligātas opcijas: OPT2: Siltummaiņas / Dzesēšanas iekārtas (3.2.6 no specifikācijas)

OPT3: Elektriskās barošanas transformators (4.1.4 no specifikācijas)

OPT4: Pirmā līmeņa uzturēšanas apmācība (9. no specifikācijas)

OPT5: Augstāka līmeņa uzturēšanas apmācība (9. no specifikācijas)