Francija – Mikroelektronikas ierīces un aparāti – Fourniture d’un système d’inspection optique compatible en 100, 150 et 200mm

CEA LETI vēlas iegādāties optisko inspekcijas sistēmu, kas paredzēta nevienveidīgiem wafers, spējot inspekcēt 100 mm, 150 mm un 200 mm diametrus ar augstu jūtību, lai veiktu pētniecības un attīstītu partnerības. Izvēlētais sistēma būs spējīga inspekcēt substrātus no dažādiem materiāliem un biezumiem. Līgums ietver obligātu opciju ar aprēķinu: - Opcija nr. 1: vienas gada garantijas pagarināšana, kopējā garantija būs divi gadi. Līgums ietver fakultatīvas opcijas ar aprēķinu: - Opcija nr. 2: elektriskā transformatora piegāde (4.1.4. punktā) - Opcija nr. 3: pirmā līmeņa uzturēšanas apmācība sistēmai - Opcija nr. 4: augstāka līmeņa uzturēšanas apmācība sistēmai