Francija – Mikroelektronikas ierīces un aparāti – Acquisition et mise en service d’un équipement ALD pour les films avancés métalliques et nitrures métalliques pour le CEA de GRENOBLE - ALD Tool for advanced metal and metal nitrides

CEA-LETI vēlas iegādāties pilnīgi automātisku atomslāņu nogulsnēšanas (ALD) iekārtu, lai attīstītu 10 nm un tālākas SOI tehnoloģijas. Šī iekārta galvenokārt apstrādās 300 mm plāksnes (vai 200 mm, izmantojot 200-300 mm atbalstus). Tā paredzēta metālu un metālnitrīdu nogulsnēšanai neierobežotajai atmiņai un progresīvajiem kontaktiem. Šī iekārta arī iekļauj tīrīšanas risinājumu, lai uzlabotu virsmas kvalitāti pirms metālu un metālnitrīdu nogulsnēšanas. Līgums iekļauj arī šādas obligātas cenu aprēķināšanas opcijas*: - Opcija 1 – Uzturēšanas apmācība 1. līmenis (9. nodaļa) Līgums iekļauj arī šādas fakultatīvas cenu aprēķināšanas opcijas*: - Opcija 2 – Siltumapmaiņas iekārtas (Heat exchangers) un dzesēšanas sistēmas (chillers) (3.2.6. nodaļa) - Opcija 3 – Elektriskais transformators (Power supply transformer) (4.1.4. nodaļa) - Opcija 4 – Augstākā līmeņa uzturēšanas apmācība (9. nodaļa) - Opcija 5 – Profilaktiskie, korīģējošie uzturēšanas pakalpojumi un nepieciešamās aizstājamās daļas (12.2. nodaļa) - Opcija 6 – Garantijas pagarināšana par vienu gadu - Transporta cena, iekļaujot apdrošināšanu, DAP CEA Grenoble (Incoterms ICC 2020 konvencija)