Iet uz saturu
Atpakaļ uz meklēšanu
Šis izsolīšanas piedāvājums ir atcelts.

Zviedrija – Ražošanas iekārtas – Deep Reaction Ion Etcher (DRIE)

Uppsala universitetZviedrijaPublicēts 2026. g. 07. okt.
22 dienas atlikušas

Apraksts

Myfab Uppsala plāno iegādāties Dziļās Reakcijas Iona Ērtu (DRIE). Rīka mērķis ir pārsūtīt paraugu, kas definēts, piemēram, foto- un elektronu staru litogrāfijā, apsegot paraugu izmēru diapazonu no visiem substrātiem līdz dažiem nanometriem. Sistēma tiks izmantota daudziem operatoriem universitātes laboratorijas vidē. Tā jābūt vieglai lietošanai un jābūt nejūtīgai biežai procesa maiņai starp partijām. Procesi iekļauj plašu etšanas spēju: no zemas līdz augstai etšanas ātrumam, plāksnēm, augstai vienmērībai, augstai atklātās laukuma, augstam aspektu attiecībai un nanometru mērogam. Sistēma paredzēta silīcija ēdē, kā arī citiem materiāliem, kas savietojami ar silīcija ēdi, ar fotolakiem un cietām maskām paraugu veidošanai.

CPV kodi

Industrial machinery

Dokumenti & iesniegšana

AI kopsavilkums
Piesakieties, lai iegūtu AI kopsavilkumu

Contains data from Tenders Electronic Daily (TED), © European Union, ted.europa.eu — CC BY 4.0.

Saistītie iepirkumi