Iet uz saturu
Atpakaļ uz meklēšanu

Francija – Elektromehāniskās iekārtas – Equipement de 300mm de gravure sélective Si-SiGe - Dry selective_SiSiGe_etching tool

COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVESFrancijaPublicēts 2026. g. 15. febr.
Nav norādīts termiņš

Apraksts

Le CEA Leti, par savas pētniecības aktivitātēm, kas vēlas attīstīt FDSOI 10nm un tālāk (FDSOI10) tehnoloģijas, vēlas iegādāties FEOL/MEOL graveršanas ierīci savai tīrā telpā. Ierīce būs spējīga apstrādāt 300mm wafers un ļaus augsti selektīvu un izotropisku silīcija (Si) un silīcija-germānija (SiGe) graveršanu. Tas iekļauj obligāto izvēles opcijas:

- Opcija 1: Process 7 (SiCO spacer graveršana)

- Opcija 2: Process 8 (spacer un SADP graveršana)

- Opcija 3: Pirmā līmeņa uzturēšanas apmācība

Kopā ar izvēlētām opcijām:

- Opcija 4: Siltummaiņas un dzesēšanas sistēmas (Section 3.2.6)

- Opcija 5: Elektriskais transformators (Power supply transformer) (Section 4.1.4)

- Opcija 6: Uzturēšanas apmācība (Chapter 9)

- Opcija 7: Profilaktiskie, korīģējošie uzturēšanas pakalpojumi un nepieciešamās rezervdaļas (Section 12.2)

CPV kodi

Electromechanical equipmentMicroelectronic machinery and apparatus

Dokumenti & iesniegšana

Iegādes dokumentiIesniegt piedāvājumu
AI kopsavilkums
Piesakieties, lai iegūtu AI kopsavilkumu
Skatīt oriģinālo paziņojumuKā PDF

Contains data from Tenders Electronic Daily (TED), © European Union, ted.europa.eu — CC BY 4.0.

Saistītie iepirkumi

Vairāk: Elektriskie mehānismi, aparāti, iekārtas un palīgmateriāli; apgaismojumsVairāk: FrancijaVisi šī pasūtītāja iepirkumi