Francija – Elektromehāniskās iekārtas – Equipement de 300mm de gravure sélective Si-SiGe - Dry selective_SiSiGe_etching tool
FrancijaApraksts
Le CEA Leti, par savas pētniecības aktivitātēm, kas vēlas attīstīt FDSOI 10nm un tālāk (FDSOI10) tehnoloģijas, vēlas iegādāties FEOL/MEOL graveršanas ierīci savai tīrā telpā. Ierīce būs spējīga apstrādāt 300mm wafers un ļaus augsti selektīvu un izotropisku silīcija (Si) un silīcija-germānija (SiGe) graveršanu. Tas iekļauj obligāto izvēles opcijas:
- Opcija 1: Process 7 (SiCO spacer graveršana)
- Opcija 2: Process 8 (spacer un SADP graveršana)
- Opcija 3: Pirmā līmeņa uzturēšanas apmācība
Kopā ar izvēlētām opcijām:
- Opcija 4: Siltummaiņas un dzesēšanas sistēmas (Section 3.2.6)
- Opcija 5: Elektriskais transformators (Power supply transformer) (Section 4.1.4)
- Opcija 6: Uzturēšanas apmācība (Chapter 9)
- Opcija 7: Profilaktiskie, korīģējošie uzturēšanas pakalpojumi un nepieciešamās rezervdaļas (Section 12.2)
CPV kodi
Dokumenti & iesniegšana
Contains data from Tenders Electronic Daily (TED), © European Union, ted.europa.eu — CC BY 4.0.
Saistītie iepirkumi
Franciaország – Egyéni funkcióval rendelkező gépek és készülékek – Fourniture d’un émulateur de canal pour le CEA de GRENOBLE
CEA GrenobleFrancijaMachines and apparatus with individual functionsTermiņš pēc 32 dienasPublicēts 2026. g. 08. sept.
Franciaország – Jelzőfények – Fourniture de matériels de signalisation tricolore et de dispositifs piétons sonores pour les malvoyants
Communauté Urbaine Caen La MerFrancijaSignalling lightsSound or visual signalling apparatusTermiņš pēc 32 dienasPublicēts 2026. g. 07. sept.
Franciaország – Mikroelektronikai gépek és berendezések – Acquisition et mise en service d’un cryostat à circuit fermé d'hélium (1K) dédié à la caractérisation de circuits photoniques intégrés pour le CEA de GRENOBLE.
CEA GrenobleFrancijaMicroelectronic machinery and apparatusNav norādīts termiņšPublicēts 2026. g. 07. sept.
Franciaország – Villamos kellékek – Fourniture matériels électriques et électroniques
Société d'Exploitation de la Tour EiffelFrancijaElectronic suppliesElectronic, electromechanical and electrotechnical suppliesTermiņš pēc 20 dienasPublicēts 2026. g. 06. sept.