Iet uz saturu
Atpakaļ uz meklēšanu

Vācija – Laboratorijas, optiskās un precīzijas ierīces (izņemot brilles) – Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS

Ruhr-Universität BochumVācijaPublicēts 2026. g. 12. aug.
Nav norādīts termiņš

Apraksts

Ruhr-Universität Bochum plāno iegādāties DRIE ēdēšanas ierīci, kas tiks izmantota Mikroelektronikas Bochum pētniecības laboratorijā substrātiem ar Wafer līdz 200 mm diametram. Tā tiks izmantota silīcija bazētu mikroelektromehānisku sistēmu (MEMS) jomā, lai veiktu dziļu anisotropisko silīcija ēdēšanu, balstoties uz ciklisko ēdēšanas procesu (DRIE, "BOSCH-procesa"), un papildus tiks izmantota jaunu ēdēšanas koncepciju pētīšanai, kas lieto mazāk klimata kaitējošos ēdēšanas gāzes.

CPV kodi

Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses)

Dokumenti & iesniegšana

AI kopsavilkums
Piesakieties, lai iegūtu AI kopsavilkumu

Contains data from Tenders Electronic Daily (TED), © European Union, ted.europa.eu — CC BY 4.0.

Saistītie iepirkumi