Francija – Mikroelektronikas ierīces un aparāti – Fourniture d’un équipement de dépôt dédié au remplissage métallique de vias à basse température

Pētniecības aktivitātēm, kas vērstas uz FDSOI 10nm tehnoloģiju attīstību un tālāk, CEA-Leti vēlas iegādāties iekārtu, kas paredzēta metāla pildīšanai caurumos zemās temperatūrās, atmiņas lietojumiem, tās tīrās telpas. Iekārta būs spējīga izmantot 300mm wafers un paredzēta augstas konformitātes tungsena plāna slāņa nogāde caurumos ar augstu formas koeficientu. Plānotais līgums iekļauj obligātu cenšanos un četras fakultatīvas cenšanos opcijas: - Obligāta cenšanos opcija: . Opcija 3 (fakultatīva pakalpojuma opcija): Pirmā līmeņa uzturēšanas apmācība - Fakultatīvas cenšanos opcijas: . Opcija 1 (fakultatīva piegādes opcija): Siltummaiņas / dzesēšanas iekārtas . Opcija 2 (fakultatīva piegādes opcija): Elektriskās barošanas transformators . Opcija 4 (fakultatīva pakalpojuma opcija): Augstāka līmeņa uzturēšanas apmācība . Opcija 5 (fakultatīva pakalpojuma opcija): Garantijas pagarināšana par vienu gadu