Francija – Elektroniskie, elektromehāniskie un elektrotehniskie materiāli – Fourniture d’un outil de mesure de couches minces compatible avec wafers de 200 mm et 300 mm

CEA-LETI vēlas iegādāties mērīšanas ierīci, lai izpētītu un attīstītu FD-SOI 10 nm un vēlākās tehnoloģijas. Ierīcei jābūt kompatibilai ar 200 mm un 300 mm wafers, izmantojama klases 100 tīrā telpā. Ierīcei jābūt apgādātai ar ellipsometrijas un spektroskopiskās reflektometrijas funkcijām. Tā jābūt precīzai un atkārtojamai mērījumiem, lai noteiktu vienkāršu vai slāņotu slāņu biezumu un optiskās īpašības. Ieinteresētās tehnoloģijas iekļauj SOI, high-k materiālus, GaN, SiC un III-V piemēram. Plānotais tirgus iekļauj: - cenu, kas atbilst pamatierīcei, - opcijas 1. līmeni, kas saistīts ar OCD un informātikas vidē (OCD modulis). Šis tirgus iekļauj opcijas ar iespējamu cenu noteikšanu: o OPT1: 1. līmeņa uzturēšanas apmācība o OPT2: Augstākā līmeņa uzturēšanas apmācība o OPT3: Elektriskā transformatora piegāde o OPT4: Siltummaiņa / dzesēšanas iekārtas piegāde o OPT5: Garantijas pagarināšana par vienu gadu o OPT6: Transporta cena, iekļaujot apdrošināšanu, pēc DAP CEA Grenoble noteikumiem (Incoterms ICC 2020 konvencija).