Francija – Mikroelektronikas ierīces un aparāti – Acquisition d’une paillasse de gravure matériaux III-V pour le CEA de GRENOBLE

Pētījumu darbībām CEA-LETI vēlas iegādāties iekārtu, pusautomātisku ķīmijas darba virsmu graviravim un materiālu III-V tīrīšanai uz silīcija, indija fosfīda (InP) vai gālija arsenīda (GaAs) plāksnēm ar diametriem 100, 150, 200 un 300 mm mikroelektronikai. Šī darba virsma aizstāj jau esošo darba virsmu LETI baltajā telpā. Tādēļ piedāvājamā iekārta ir jāatbilst šādām izmēriem: o Garums = 2500 mm o Dziļums = 1700 mm o Augstums = 2100 mm. Līgums iekļauj arī šādas opcijas ar iespējamu cenu aprēķinu:* o Opcija 1: Temperatūras maiņas ierīces un dzesēšanas ierīces (§3.2.6); o Opcija 2: Barošanas transformatori (§4.1.4); o Opcija 3: Pirmā līmeņa uzturēšanas apmācība (§9); o Opcija 4: Augstāka līmeņa uzturēšanas apmācība (§9); o Opcija 5: Garantijas pagarināšana par vienu gadu (§11.1); o Opcija 6: Sekundārās kontakta iespējamība, kas norāda uz H2SO4 vai H2SO5 drenāža vārstula atvēršanu (§4.2.3); o Transports, apdrošināts, pēc DAP CEA Grenoble noteikumiem (Incoterms ICC 2020).