Iet uz saturu
Atpakaļ uz meklēšanu

Vācija – Dažādas īpaša lietojuma iekārtas – Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative MikroelektronikVācijaPublicēts 2026. g. 04. jūn.
Nav norādīts termiņš

Apraksts

Pirkstveida iegāde ir 200 mm volframa Chemical Vapor Deposition (CVD) sistēmas, ražotāja Applied Materials Inc. (AMAT) iegādē, uzstādīšana un konfigurēšana WxZ Sprint konfigurācijā. Tam ir nepieciešamas īpašas izmaiņas gāzu sadalīšanas sistēmā, lai realizētu impulssignalizētu volframa nogulsnēšanas procesu, kā arī papildus aparatūras integrācija, lai nodrošinātu nogulsnēšanas spiedienu līdz 300 Torr. Darbi iekļauj plānošanu, piegādi, integrāciju, iekļaušanu un kvalificēšanu nepieciešamajām aparatūras un programmatūras izmaiņām pastāvējošajā sistēmā.

CPV kodi

Miscellaneous special-purpose machineryMicroelectronic machinery and apparatus

Dokumenti & iesniegšana

AI kopsavilkums
Piesakieties, lai iegūtu AI kopsavilkumu

Contains data from Tenders Electronic Daily (TED), © European Union, ted.europa.eu — CC BY 4.0.

Saistītie iepirkumi