Šveice – Laboratorijas, optiskās un precīzijas ierīces (izņemot brilles) – Un système de pulvérisation cathodique dédié à la déposition de couches minces supraconductrices de haute qualité

EPFL plāno, sadarbībā ar Ženēvas Universitāti (UNIGE), iegādāties augstas tehnoloģijas spateru nosedzēšanas iekārtu, kas specifiski paredzēta augstas kvalitātes supradzinējošo plānu slāņu ražošanai. Iekārta tiks instalēta un izmantota EPFL MikroNanotehnoloģiju Centrā (EPFL CMi). CMi ir centralizēta iestāde mikro- un nanotehnoloģiju ražošanai, kas kalpo visām EPFL fakultātēm un ir pieejama arī ārējām universitātēm un vietējiem rūpniecības partneriem (apmēram 600 aktīvie lietotāji gadā). Jaunā iekārta tiks izmantota augstākās līmeņas pētījumos vienfotona detektoru jomā, mērķis ir aizvērst starpību starp laboratorijas ražošanu un rūpniecisko ražošanu, ļaujot nosedzēšanu uz 200 mm diametra vāferiem. Speciāla uzmanība tiek vērsta ne tikai uz nosedzēšanas kvalitāti un supradzinējošo plānu slāņu īpašībām, bet arī uz iekārtu lietojamību, kā arī uz to vienkāršību un ātrumu, lai jauni lietotāji varētu ātri iemācīties, kā arī uz tā spēju kontrolēt procesu, kas ir gan fleksibls, gan stabils F&E vidē. Lielu uzmanību veltīs arī piegādātāja tuvumam un reaģēšanas spējamībai, kas saistīta ar visiem tehniskajiem atbalstiem un procesa atbalstiem. Saskaņā ar EPFL prasībām, kā arī ar CMi un UNIGE zinātniskajiem mērķiem, īpaši uzmanība tiek vērsta uz šādiem aspektiem: ● Supradzinējošo plānu slāņu kvalitāti, atkārtojamību un vienmērību. ● Integrāciju ar mūsu infrastruktūru.