Spanja – Makkinarju, u apparat, mikro-elettroniku u mikro-sistemi – Suministro de sistema de grabado mediante haz iónico (Ion beam Etching - IBE)

L-eqip se jidestina l-ICTS MICRONANOFABS, reġistru spagnolu ta' sali bjanki ta' mikro u nanofabrikazzjoni integrata fl-Iċċarta Nazzjonali tal-ICTS tal-Ministeru responsabbli għall-ċjenza, li jinkludi l-Infraħstruttura ta' Mikro u Nanofabrikazzjoni tal-Centro ta' Teknoloġija Nanofotonika (NTC) tal-Università Politècnica tal-València (UPV), ma' il-Centro Nazzjonali ta' Mikroelettronika (CSIC) u l-Central ta' Teknoloġija tal-ISOM (UPM). L-installazzjoni se tinkwistja fis-Sala Bjanka tal-edifizzju 8F tal-NTC-UPV. Il-Centro ta' Teknoloġija Nanofotonika jippjattja proċessi ta' fabrikazzjoni ta' dispozitivi fotoniki integrati, biosensuri, komponenti ta' ottika integrata, dispozitivi kwantistiku, sistemi mikroelettromekkaniku (MEMS), strutturi mikrofluidiku u sistemi nanofotoniku fuq varjetà ampia ta' materjali, li jinkludu siliku, nitruru ta' siliku, ġlaħ, kwarzu, materjali III-V, materjali dielettriku u strutturi ibridi. Bħala ICTS integrata fl-ICTS MICRONANOFABS, il-NTC-UPV jipprovdi servizzi ta' mikro u nanofabrikazzjoni għal gruppi ta' riċerka nazzjonali u internazzjonali, kif ukoll għal azzjent, fl-ambitu ta' proġetti kompetittivi, kontratti ta' trasferiment ta' teknoloġija u servizzi avanzati. Dan il-kondizzjoni ta' infrastruttura singulari ta' użu komuni jista' jgħodd il-ħtieġa li jkunu disponibbli strumenti aktualizzati, robusti u ta' prestazzjonijiet li jkunu konformi mal-estat tal-arte, li jpermettu li jkunu risposti għall-lini ta' riċerka propriji kif ukoll għal-id-domanda esterna tal-komunità tal-ċjenza u l-industrija, fl-ambitu tal-obġettivi tal-PERTE Chip għall-ħġieg ta' l-kapaċitajiet nazzjonali ta' mikroelettronika u fotonika. Ktir minn id-dispozitivi li jitfabrikaw fl-infraħstruttura jħtħu proċessi ta' gravura fizika ta' precizzjoni elevata fuq materjali li l-proċessi konvenzjonali ta' gravura ċemika (b'majjet) ma jipprovdux il-kwalità tal-surfacc, l-anisotropija jew is-selettività li jkollhom il-ħtieġa. Akkost, il-komplessità kbar ta' id-dispozitivi li jitħaddmu jista' jgħodd il-ħtieġa li jkunu disponibbli proċessi ta' gravura fisika ta' precizzjoni elevata, li jkollhom kontrol precizzu tal-anglu tal-inċidenza tal-haz, stabilità elevata, automatizzazzjoni u monitorizzazzjoni kontinwa.