Franza – Makkinarju, u apparat, mikro-elettroniku – Fourniture d’un équipement de 300mm de polissage mécano-chimique

Għal attivitajiet ta' ricerka li jidħlu f'żvilupp tal-teknoloġiji FD-SOI 10 nm u l-aktar, il- CEA-LETI jrid jikkomprà attrezzatura 300mm ta' polish mekkaniku-kimiku. L-attrezzatura tista' tpolish film metalliku bħala il-ħaġar jew it-tungstenu, u materiali barriera bħala it-tantalum jew it-titanju. L-attrezzatura tista' tkun kapaci ta' polish plakki trasparenti. Tista' tkun mifruxa bi 4 platelli u 2 cleaner biex tista' ttratta 2 processi paralleli. Tista' tkun mifruxa bi raġel polish u sistemi ta' end-point tal-lastika ġenerazzjoni li jpermettu l-ajustament awtomatiku tal-profil tal-polish. L-attrezzatura tista' tkun mifruxa bi modulu ta' metrologija in-situ. Dan il-kontratt jinkludi l-opzjoni obligatorja li ġie: - Opzjoni n°1: Prolungament tal-garanzija b'sena addizzjonali. Dan il-kontratt jinkludi l-opzjonijiet fakultattivi li ġie: - Opzjoni n°2: Fornitura ta' sensur ta' residu (paragraf 3.1 tal-kahier tal-kondizzjonijiet), - Opzjoni n°3: Fornitura ta' skambju ta' kwarra/refridratur (paragraf 3.2.6 tal-kahier tal-kondizzjonijiet), - Opzjoni n°4: Fornitura ta' trasformatur elettriku (paragraf 4.1.3 tal-kahier tal-kondizzjonijiet), - Opzjoni n°5: Formazzjoni ta' manutenzjoni ta' livell 1 (paragraf 9 tal-kahier tal-kondizzjonijiet), - Opzjoni n°6: Formazzjoni ta' manutenzjoni avanzata (paragraf 9 tal-kahier tal-kondizzjonijiet), - Opzjoni n°7: Prezz tal-trasport, inkluż assigurazzjoni, konformi mal-kondizzjonijiet DAP CEA Grenoble (Konvenzjoni Incoterms ICC 2020).