Franza – Makkinarju, u apparat, mikro-elettroniku – Acquisition et mise en service d’un équipement ALD pour les films avancés métalliques et nitrures métalliques pour le CEA de GRENOBLE - ALD Tool for advanced metal and metal nitrides

F'għażla ta' attivitajiet ta' r-riċerka li jitħallaq l-innovazzjoni ta' teknoloġiji SOI b'ħafna ta' 10 nm u wara, il-ĊEA-LETI jrid jistgħu jikkompru attrezzatura ta' depositu per strati atomiki (ALD) bil-kumplettaw automatiku. Dan l-attrezzatura jrid jittratta l-ewwel għal-waħda ta' 300 mm (uwaħda ta' 200 mm bil-fuġġa ta' 200-300 mm). Huwa destina għal depositu ta' metali u nitruri metalli għal memorji non volatili u kontatti avanzati. Dan l-attrezzatura jrid ikkompli għal soluzzjoni ta' nettaġġ għal t-tilqim ta' kwalità ta' surfacc tal-pastra qabel ma jittrattaw il-metali u nitruri metalli. Il-market jinkludi ukoll l-opżjoni ta' chiffratur obligatorju li għandha* : - Opżjoni 1 – Formazzjoni ta' manutenzjoni Nivel 1 (Kapitlu 9) Il-market jinkludi ukoll l-opżjonijiet ta' chiffratur opzjonali li għandhom* : - Opżjoni 2 – Skambjatur ta' ħaħa (Heat exchangers) u sistemijiet ta' tifdira (chillers) (Sezzjoni 3.2.6) - Opżjoni 3 – Transformatur elettriku (Power supply transformer) (Sezzjoni 4.1.4) - Opżjoni 4 – Formazzjoni ta' manutenzjoni Avanzata (Kapitlu 9) - Opżjoni 5 – Servizzi ta' manutenzjoni preventiva, korrettiva u pezzetti ta' sostituzzjoni li jkollhom (Sezzjoni 12.2) - Opżjoni 6 – Estensjoni ta' garantija ta' sena addizzjonali - Il-prezz tal-trasport, maħsub bil-assigurazzjoni, konformi mal-kondizzjonijiet DAP CEA Grenoble (Konvenzjoni Incoterms ICC 2020)