Spanja – Ċirkwiti elettroniċi integrati u mikro-assembleji – Suministro, instalación y puesta en funcionamiento de un equipo Electron Beam Lithography tool up to 8-inch wafers (UPV04) y un equipo SEM (UPV13) para la Pilot Line de la UPV

Il-kontraċċjoni li tinsab il-ġħaqda din hi necessarja biex tiġi tqassam il-labur ta' riċerka użewwieda għall-Pilot Line tal-UPV, b'ġħan li jitħallu l-ġimgħa tal-liġni pilot avanzati li jinsabu u jitħallu ġdid f'kull l-Unjoni, biex jippermettu l-ħallu u l-deplojament ta' teknoloġiji tal-semikondutturi tal-ġġenerazzjoni tal-ġdid u teknoloġiji tal-semikondutturi tal-ġenerazzjoni li għaddew. Għal dan il-ġħan, jinsab il-proċess ta' l-akwist tal-ħaġa, minn oħrajn, ta' l-ħaġa li jinsabu:

4

• UPV04 - Electron beam lithography tool up to 8-inch wafers: Haġa ta' litografija per haz ta' elektronijiet li tħallu modelli f'resistenzijiet sensibbli per mezz tal-haz ta' elektronijiet imfokkati u skannati. Tiktieb karattriżiżi b'riżuluzzjoni nanometrika konforme l-idejż digitali. Dedikata għal litografija ta' nanofabrikazzjoni, speċjalment għal maski u struturi f'fotonika, semikondutturi u nanoteknoloġija.

• UPV13 – SEM: Haġa ta' inspezzjoni tal-surfizzji per mezz tal-haz ta' elektronijiet imfokkati li tħallu immaġġini b'riżuluzzjoni nanometrika. Tippermetti l-ġib ta' informazzjoni morfoloġika u ta' kontrast tal-surfizzji, kif ukoll kontrast li jassocja mal-differenzi tal-kompożizzjoni jew numru atomiku, konformi l-detetturi u modi tal-immaġġini disponibbli. Dedikata għal metrologija, inspezzjoni u validazzjoni tal-proċess u kontroll tal-kwalità. L-idoneità tal-ħaġa tinsab f'kapacitá tagħha li tħallu l-ħaġa tal-ġimgħa tal-liġni pilot avanzati tal-ġimgħa tal-liġni pilot tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimgħa tal-ġimg