Franza – Makkinarju, u apparat, mikro-elettroniku – Fourniture d’un équipement de dépôt dédié au remplissage métallique de vias à basse température

Għal attivitajiet ta' ricerca tiegħu, li jgħin il-teknoloġiji FDSOI 10nm u l-aktar, il-CEA-Leti jrid jikkomprà attrezzatura dedicata għal-impliment ta' vias metalliku b'ħarsien b'ħarsien bassa, għal applikazzjonijiet ta' memoria, għal il-sala-bjanka tiegħu. L-attrezzatura tkun kapaci ta' tħalluża wafers ta' 300mm u tkun prevista għall-depozitu ta' film fin ta' tungstenju b'konformità alta f'vias b'fattur ta' forma alta. Il-merkatu li jitkellem jinkludi opżoni b'ħarsien obligatorju u opżjonijiet quattri b'ħarsien opżonali:

- Opżjon b'ħarsien obligatorju: Opżjon 3 (servizz opżonali): Formazzjoni għall-manutenzjoni livell 1

- Opżjonijiet b'ħarsien opżonali:

- Opżjon 1 (furnitur opżonali): Skambjatur tal-ħarsien / rifreddaturi

- Opżjon 2 (furnitur opżonali): Trasformatur tal-approvvigionament tal-elettru

- Opżjon 4 (servizz opżonali): Formazzjoni għall-manutenzjoni avanzata

- Opżjon 5 (servizz opżonali): Estensjoni tal-garanzija ta' sena