Il-Ġermanja – Makkinarju varju għal skopijiet speċjali – Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration

L-ogħla tal-istħarża hi l-upgrade ta' sistem 200 mm Wolfram Chemical Vapor Deposition (CVD) eżistenti tal-ħaddiem Applied Materials Inc. (AMAT) għal konfigurazzjoni WxZ Sprint. Dan jinkludi, b'mod partikolari, modifikazzjonijiet fil-sistem tal-distribuzzjoni tal-gas għal irrealizzazzjoni ta' proċess ta' deposizzjoni tal-wolfram pulzata, u l-integrazzjoni ta' hardwer addizzjonali għal iġib il-possibiltà ta' deposizzjonijiet sa 300 Torr. Il-ħidma tinkludi l-planifikazzjoni, it-telgħa, l-integrazzjoni, l-inizjalizzazzjoni u l-kwalifikazzjoni tal-modifikazzjonijiet tal-hardwer u software eżistenti.