Zweden – Laboratoriuminstrumenten, optische en precisie-instrumenten (uitgezonderd brillen) – Electron Beam Lithography (EBL) Tool

Lunds Universiteit, Afdeling Natuurkunde, Lund Nano Lab verwervt een Elektronenbundellithografieapparaat. Het instrument is bedoeld voor hoogoplossend, herhaalbaar patroonmaken, uitgerust met een groot schrijfveld voor hoogdoorloops patroonmaken en geautomatiseerde zelfkalibratieroutines om lange blootstellingen te ondersteunen met minimale fouten door bundeldrift. Ten slotte moet zijn flexibele monsterladesysteem worden geconfigureerd voor een breed scala aan monsters van kleine stukken die worden gebruikt voor basiswetenschap, of wafers tot 8" in diameter voor pilotproductietesting. Met deze eigenschappen zal het Elektronenbundellithografieapparaat een centraal onderdeel van de productieinfrastructuur van Lund Nano Lab worden en een breed scala aan toepassingen ondersteunen zoals kwantumapparaten, hoogvermogenselektronica, metasurfaces en meer. Naast het instrument moet de aanbesteding alle gerelateerde kosten omvatten zoals garantie, verpakkingen, verzekering, op locatie installatie, inbedrijfsname, FAT, SAT, in- en uitvoerbelasting en vervoer, training, documentatie, ondersteuning, ontwikkeling/software-updates, kosten onder de Verordening over de producentenverantwoordelijkheid voor verpakkingen (2022:1274) enz.