Duitsland – Laboratoriuminstrumenten, optische en precisie-instrumenten (uitgezonderd brillen) – OV_LK_08-26-0886 Cz-Züchtungsanlage-Fluoride-2027

Levering "vrij gebruikerslocatie", installatie en inbedrijfstelling van een Cz-groeiinstallatie voor het kweken van fluoride-eenkristallen. Daarnaast: levering van de documentatie, afname (fabrieks- en eindafname), service in geval van storing. Het systeem maakt het groeien van fluoride-eenkristallen uit de smelt mogelijk door middel van een trekmethode (bijvoorbeeld het Czochralski-proces). Het systeem wordt in een onderzoeksomgeving gebruikt en moet vaker gebruikerstoegang, eenvoudige onderhoud en een hoge processtabiliteit garanderen. Het systeem moet kristallen met een maximale diameter van 100 mm (4 inch) en een gewicht van tot 5 kg kunnen produceren. De maximale binnendiameter van de koker wordt geschat op ongeveer 200 mm. Het kristalkweekproces vindt plaats in een watergekoelde roestvrijstalen kamer, waarvan de binnenwand elektropolijst moet zijn om een hoogvacuüm te bereiken. Argon en CF4 worden als procesgassen gebruikt. Het systeem moet over een bake-out-functie beschikken, d.w.z. de kamer moet onder verwarming op >50 °C op een hoogvacuüm (<1×10-6 mbar) worden geëvacueerd. Het proces wordt bij een druk licht boven atmosferische druk (typisch 1,05-1,1 bar) in statische of stromende atmosfeer uitgevoerd. Het uitgangsmateriaal bevindt zich in een koolstofgebaseerde koker (grafiet of glasachtige koolstof), die in het midden van de roestvrijstalen kamer wordt verhit. De verhitting geschiedt door middel van een grafietweerstandsverwarming die de koker en de smelt verwarmt. Het kristallisatieproces wordt geïnitieerd door een zaadkristal, dat aan een rotatende en translatief bewegende as van platina is bevestigd en in de smelt wordt gedompeleld. Het zaadkristal wordt vervolgens onder rotatie langzaam uit de smelt getrokken, waardoor een volume-eenkristal ontstaat.