Frankrijk – Elektronische, elektromechanische en elektrotechnische benodigdheden – Fourniture d’un équipement de métrologie optique 100/150/200mm

In het kader van zijn onderzoek en ontwikkelingsactiviteiten in samenwerking met partners, wil het CEA LETI een optisch inspectiesysteem verwerven dat is gericht op niet-gestructureerde wafers, in staat om wafers van 100 mm, 150 mm en 200 mm te inspecteren (zoals een « bruggereedschap » genoemd), om de oude systemen die tot nu toe zijn gebruikt te vervangen. Het geselecteerde gereedschap moet in staat zijn om dunne en dikke substraten te inspecteren. Dit systeem zal worden gebruikt voor de kwalificatie van processen in een witte kamer op verschillende stappen van het proces (zolang de substraten niet zijn gestructureerd); het moet in staat zijn om exotische substraten te verwerken en in staat om, op verzoek van de gebruiker, afbeeldingen van defecten te inspecteren en te verzamelen (microscopische afbeeldingen). De voorziene markt omvat: - Een basisuitrusting; - De volgende verplicht te beprijzen optie: o OPT1: Uitbreiding van de garantie met een jaar - Evenals de volgende opties die optioneel te beprijzen zijn: o OPT2: Warmtewisselaars / koelers o OPT3: Transformatie o OPT4: Opleiding Maintenance 1e niveau o OPT5: Geavanceerde Opleiding Maintenance o De prijs van het vervoer, inclusief verzekering, volgens de DAP CEA Grenoble voorwaarden (Incoterms ICC 2020 overeenkomst)