Frankrijk – Micro-elektronische machines en toestellen – Fourniture d’un équipement de 300mm de polissage mécano-chimique

Voor zijn onderzoekactiviteiten gericht op de ontwikkeling van FD-SOI 10 nm technologieën en verder, wenscht het CEA-LETI een 300mm mechanisch-chemisch polierapparaat te verkrijgen. Het apparaat moet in staat zijn om metalen films zoals koper of wolfraam, evenals barrièrematerialen zoals tantaal of titanium te polijsten. Het apparaat moet ook in staat zijn om transparante platen te polijsten. Het moet uitgerust zijn met 4 plateaus en 2 reinigers om 2 processen parallel te kunnen behandelen. Het moet uitgerust zijn met de laatste generatie polijstkoppen en eindpunt systemen die de automatische aanpassing van het polijstprofiel mogelijk maken. Het apparaat moet later een in-situ metrologiemodule integreren. Het huidige contract bevat de volgende verplichte optie: - Optie nr. 1: Verlenging van de garantie met een extra jaar. Het huidige contract bevat de volgende optionele opties: - Optie nr. 2: Levering van een residu sensor (§3.1 van de technische specificatie), - Optie nr. 3: Levering van een warmtewisselaar/koeler (§3.2.6 van de technische specificatie), - Optie nr. 4: Levering van een elektrische transformator (§4.1.3 van de technische specificatie), - Optie nr. 5: Eerste niveau onderhouds training (§9 van de technische specificatie), - Optie nr. 6: Geavanceerde onderhouds training (§9 van de technische specificatie), - Optie nr. 7: De prijs van de transport, inclusief verzekering, volgens de voorwaarden DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020).