Duitsland – Diverse machines voor algemeen en specifiek gebruik – Inline automatic optical inspection (AOI) with high-speed Analysis for QMI systems

Modulaire, volledig geautomatiseerde prober voor optische inspectie en elektrische contact van elektronische, fotonische en micro-mechanische apparaten, inclusief geavanceerde productiemethoden zoals quasi-monolithische integratie. Het systeem beheert 200 mm wafers evenals frames, tapes, trays en vergelijkbare substraten. Een eind‑aan‑eind dragerbehandelingssysteem laadt dragers met gemonteerde substraten uit gespecialiseerde cassettes, positioneert ze op de vacuumchuck van de prober en voert volledig geautomatiseerde uitlijning uit. Er is een testkaart/probekaart-interface voorzien voor elektrische verbinding. Probe detectie en fijn positieer zijn volledig geautomatiseerd om herhaalbare contactcondities te garanderen. De software ondersteunt programmeerbare sequentiecontrole en uitlijning op basis van referentiepunten. Voor optische inspectie biedt het systeem een beweegbare mechanische interface om modulaire, door de klant geleverde optische inspectiemodules (bijv. microscope met camera) op te nemen met laterale en verticale aanpassing. De ruimte boven de p