Frankrijk – Micro-elektronische machines en toestellen – Fourniture d’un système d’inspection optique compatible en 100, 150 et 200mm

Voor zijn onderzoek en de ontwikkeling van zijn partnerschappen wil CEA LETI een optisch inspectiesysteem aankopen dat is toegewijd aan niet-gestructureerde wafers en in staat is om diameteren van 100 mm, 150 mm en 200 mm te inspecteren met een geavanceerde gevoeligheid. Het geselecteerde systeem moet in staat zijn om substraten van verschillende materialen en diktes te inspecteren. Het contract omvat een optie met verplicht offerte: - Optie nr. 1: Een extra jaar garantie, waardoor de totale garantie twee jaar bedraagt.

Het contract omvat opties met optionele offerte: - Optie nr. 2: Levering van een elektrisch transformator (artikel 4.1.4 van de technische specificaties) - Optie nr. 3: Opleiding in eerste-level onderhoud voor het inspectiesysteem, - Optie nr. 4: Opleiding in geavanceerd onderhoud voor het inspectiesysteem.