Frankrijk – Micro-elektronische machines en toestellen – Acquisition et mise en service d’un équipement ALD pour les films avancés métalliques et nitrures métalliques pour le CEA de GRENOBLE - ALD Tool for advanced metal and metal nitrides

In het kader van zijn onderzoek om technologieën SOI met volledige uitputting van 10 nm en verder te ontwikkelen, wilt het CEA-LETI een volledig automatische ALD (Atomic Layer Deposition) installatie verwerven. Deze installatie moet voornamelijk 300 mm wafers (of 200 mm wafers met behulp van 200-300 mm carriers) behandelen. Het is bedoeld voor het afzetten van metalen en metaalnitriden voor niet-vluchtige geheugens en geavanceerde contacten. Deze installatie moet ook een reinigingsoplossing omvatten om de oppervlaktekwaliteit te verbeteren voor het afzetten van metalen en metaalnitriden. Het contract omvat ook de volgende verplichte optie met offerte* : - Optie 1 – Niveau 1 onderhoudsopleiding (Hoofdstuk 9) Het contract omvat ook de volgende opties met optionele offerte* : - Optie 2 – Warmtewisselers (Heat exchangers) en koelsystemen (chillers) (sectie 3.2.6) - Optie 3 – Elektrische transformator (Power supply transformer) (sectie 4.1.4) - Optie 4 – Geavanceerde onderhoudsopleiding (Hoofdstuk 9) - Optie 5 – Preventieve, correctieve onderhoudsdiensten en benodigde reserveonderdelen (sectie 12.2) - Optie 6 – Garantieverlenging met één jaar - De prijs van de verzekerde transport, volgens de voorwaarden DAP CEA Grenoble (Incoterms ICC 2020 overeenkomst)